1.測量參數技術指標:
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類型
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項目
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分辨率
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重復性
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再現性
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線性 |
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環
矩 槽 形 |
上、下側面直線度(μm)
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0.1
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0.6
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0.6
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1%
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上、下側面傾斜度(μm)
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0.1
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3.0
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3.0
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上、下側面平行度(μm)
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0.1
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3.0
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3.0
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||
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環槽與軸線垂直度(μm)
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0.1
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5.0
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5.0
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||
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梯
形 環 槽 |
上、下側面直線度(μm)
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0.1
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0.6
|
0.6
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1%
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上、下側面角度
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1.0秒
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1.0分
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1.5分
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上、下側面波紋度(μm)
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0.1
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5.0
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5.0
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||
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環槽與軸線垂直度(μm)
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0.1
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4.0
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6.0
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2.測量原理:
活塞環槽測量采用趾口胎定位,主要測量機構分為左右平移旋轉部分和上下移動部分;通過左右平移檢測傳感器上下變化量,計算出各個被測參數值。
左右平移旋轉機構主要有精密工作臺、精密密珠軸系、正弦規、精密平面導軌、高精度光柵、絲杠和手輪,趾口胎定位于精密工作臺上,工作臺固定在可調整偏擺和平移精密軸系上,精密軸系放置在正弦規上,正弦規位于精密平面導軌上,平面導軌下接高精度光柵,同時平面導軌連接絲杠,絲杠通過手輪帶動整個測量系統左右平移。所用平移旋轉機構搭起來后,左右移動精度<0.8μm / 10mm(工作臺面上放置平晶后在平晶上任意10mm),旋轉精度為軸系圓度<2.0μm,主軸端面跳動<2.5μm。精密軸系上有調整左右平移和前后平移的旋鈕各2個(90度均布),調整左右偏擺和前后偏擺的旋鈕各2個(90度均布),主軸鎖緊旋鈕四個(90度均布),轉動桿四個(90度均布)。
上下移動部分主要有旁向傳感器、精密立柱、手輪、絲杠和調整機構,旁向傳感器固定在調整機構上(可對傳感器位置進行粗調和精調),調整機構可隨手輪絲杠在精密立柱上上下移動,傳感器和光柵的分辨率為0.1μm。
測量矩形環槽時,將活塞放置在趾口胎上,通過調整機構,將傳感器放置在活塞環槽中間位置,轉動精密軸系,調整平移和偏擺,通過檢視傳感器示值變化,調整三點數值一致,這樣,就可保證活塞平放,測量軸線與活塞軸線同軸,確保測量數據的準確性。
測量梯形環槽時,將正弦規支起規定角度(正弦規支起角度經過精密計量,與被測梯形槽角度一致),通過調整機構,將傳感器放置在活塞環槽中間位置,轉動精密軸系,調整平移和偏擺,通過檢視傳感器示值變化,調整三點數值一致,這樣,就可保證活塞梯形槽轉動時處于平放狀態,測量軸線與活塞軸線同軸,確保測量數據的準確性。
各個參數的具體調整和測量方法有一些差異,都可以通過調整機構調整滿足要求。
測量結果用工業控制計算機顯示,電腦在測量時采集數據,計算結果并繪制圖形,保存測量結果,并具有數據的統計分析功能,直線度采用最小二乘法評定,利用評定結果計算出梯形環槽角度值,與兩點法算角度比較,更科學和接近實際。
3.其它要求:電源為AC220V,工作環境溫度為0℃~60℃。